真空热处理是真空技术和热处理相结合的综合技术，是指热处理过程的全部和部分都是在真空状态下进行的。我国的真空分为低真空、中真空、高真空和超高真空。

在热处理领域，真空炉和中频电炉具有良好的发展前景。用于透热、轧制、锻造、弯曲、热处理(淬火)、感应加热等焊接过程。那真空炉和中频电炉的热处理工艺是什么？
在真空炉中处理钛合金时，由于钛和氮在高温下反应产生钛氮化物，不能使用氮气作为冷却气体。
真空炉的活动连接部分全部用O形圈密封，并用水冷却。

工件真空淬火时，应使用饱和蒸汽压低的真空淬火油。

真空炉的维修应处于真空或纯氮充气状态，避免空气吸收和吸湿不用时。

国内真空炉升压率不超过1.33pa//h，国外一些企业的升压率为0.67pa/h

真空加热主要是辐射加热，炉内工件之间应保持一定的距离。

在加热过程中，工件和炉料会被放气以降低真空度。

真空回火、真空退火、真空固溶处理及真空时效的加热温度一般与常规处理相同。

真空回火炉应该配备快速冷却装置。冷却水压力大于0.2MPa，流量可调。

冷却气体：一般钢材采用99.995%纯氮，高温合金采用99.999%氮或氩，钛合金采用99.995%氩。

加热：工件放入后，经预抽至6.67pa方可加热。